微惯性传感器

微加速度计原理和结构微加速度计最典型的原理是：使用质量作为敏感元件，当载体在一定方向上加速时，质量在一个方向上快速移动，然后通过电极测量位移（或产生偏移的惯性力根据位移量（或产生偏移的惯性力）分类为位移的测量方法：压阻式加速度计，电容型，隧道电流型，共振型MEMS传感器的工作原理传统的陀螺仪主要采用角动量守恒原理，因此它主要是一个连续旋转的物体，其旋转轴不随带有它的支架的旋转。但是MEMS陀螺仪不是这样工作的，因为在硅上制造可旋转结构并不是一件容易的事。
图标晶圆使用微机械技术。 MEMS陀螺仪使用科里奥利力 - 旋转物体在径向运动时所经历的切向力。
以下是如何输出科里奥利力。具有力学知识的读者不应该难以理解。
在太空中建立动态坐标系。使用以下等式计算加速度产生三个项，其源自径向加速度，科里奥利加速度和向心加速度。