2021年3月3日晚上，中芯国际在香港联合交易所发布公告，称中芯国际已于2021年2月1日与上海ASML（ASML）签署了修订并重述的ASML批量购买协议。协议中，购买协议的期限从2018年1月1日延长至2020年12月31日，从2018年1月1日延长至2021年12月31日。
公告显示，该订单的总价格约为12亿美元。下订单后，中芯国际将支付30％的首付款，余额将在收到产品后支付。
Asim Shanghai是ASML Holdings N.V.的子公司之一，荷兰公司ASML是世界上最大的光刻机制造商，而光刻机是制造芯片的关键设备。 ASML占据了工艺低于45nm的光刻机市场的85％，并且在EUV（极端紫外线光刻）光刻机领域拥有绝对的垄断地位，市场份额为100％。
EUV光刻机可以推进5nm / 7nm工艺节点，而DUV（深紫外照相技术）光刻机可以扩展SMIC的生产能力，例如，以满足近期对8英寸晶圆生产不断增长的需求。今年，对成熟技术的需求相对较大，这也是中芯国际抢占市场的机会。
根据相关媒体的最新报道，向中芯国际提供14纳米及以上工艺所需的原材料和设备的相关美国制造商已获得美国许可证。当前的许可证基于10nm工艺。
与14纳米及以上制程相关的产品可以获得许可，而10纳米及以下制程节点将受到限制。简而言之，现阶段，中芯国际除了ASML的EUV光刻机外，还可以购买DUV光刻机。